(1) 課程安排：
「奈米科技認證與實驗」(課號：B2034001)課程於97年下學期開課，課程大綱
如下：
上課方式分為三部份進行，第一部分為實驗室設施簡介及工安介紹。
第二部份以一小時儀器原理講解，二小時實驗操作為主。學習儀器操作與認
證:每週課程內容及預計進度:
第 1 週 : "國科會高屏地區奈米核心設施實驗室"介紹
第 2 週 : 和平紀念日放假
第 3 週 : 實驗講解
第 4 週 : 工安訓練及認證 (包含Wet Bench)
第 5 週 : High Density Plasma Chenical Vapor Deposition 儀器見習與認證
第 6 週 : Inductive Couple Plasma Etcher 儀器見習與認證
第 7 週 : 民族掃墓節放假
第 8 週 : Dual E-Beam Evaporator 儀器見習與認證
第 9 週 : Multi-Target Sputter 儀器見習與認證
第 10 週 : Rapid Thermal Annealing System 儀器見習與認證
第 11 週 : Mask Aligner and Exposure System 儀器見習與認證
第 12 週 : Laser Annealing System 儀器見習與認證
第 13 週 : Laser Ablation System 儀器見習與認證
第 14 週 : N & K analyzer;3D Alpha-Step Profilometer;4 Point Probe 儀器
見習與認證
第15~16週 : 儀器實際操作
第 17 週 : 畢業典禮放假
第 18 週 : 學期成果報告呈現 第三部份為元件製作與量測
(2) 奈米學程
將「奈米科技認證與實驗」納入奈米科技材料學程課程13門課之ㄧ。因為機台限制，本課程限收學生人數30人，先修課程為：半導體奈米元件製造技術。且以註冊「奈米學程」之學生優先。
(3) 種子學員訓練、教材、機台耗材準備
製作教材共11份(工安/ICP/CVD/Sputter/E-beam/RTA/Mask Aligner/Laser Annealing/N&K/3D Alpha-Step /4 Point Probe ) 如網站//www.nano.nsysu.edu.tw/nano/ncf/facilities.asp，供學員下載閱讀資料
各設備之簡介及儀器負責學生(種子學員)之資料如下：
設備名稱 負責老師 助理 聯絡電話 使用規範 認證參考 相關課程
高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD)
High Density Plasma Chemical Vapor Deposition
張鼎張教授 楊伯鈞
戴志豪
分機 3708；0955131359
感應耦合式電漿蝕刻系統(ICP-Etcher)
Inductive Couple Plasma Etcher
張鼎張教授 張冠張
黃正杰
分機 3708；0921641037
多靶磁控濺鍍系統(Sputter)
Multi-Target Sputter
張鼎張教授 曹書瑋
陳敏甄
分機 3708；0939890087
雙電子槍蒸鍍機 (E-Beam)
Dual E-Beam Evaporator
張鼎張教授 郭原瑞
林佳盛
分機 3708；0927106596
快速退火系統 (RTA)
Rapid Thermal Annealing System
張鼎張教授 翁崎峰
盧一精
分機 3708；0937630487
光罩對準機
Mask Aligner and Exposure System
周 雄教授 彭進詮
分機 3722；0911255974
雷射退火系統 (Laser Annealing )
Laser Annealing system
周 雄教授 陳柏君
鄭永鑫
分機 3722；0933761018
雷射濺鍍系統(Laser Ablation)
Laser Ablation system
周 雄教授 于淳正
彭進詮
楊孟璇
分機 3722；0912526569
薄膜特性分析儀(N & K )
N & K analyzer
張鼎張教授 戴志豪
分機 3708；0958720271
三維輪廓儀(Alpha-Step)
3D Alpha-Step Profilometer
張鼎張教授 盧一精
分機 3708；0921047079
四點探針
4 Point Probe
張鼎張教授 黃正杰
分機 3708；0921641037
(4)實際課程安排
Sputter ICP Etcher RTA/4 probe a-step/NK CVD E-gun MA
3/21 工安
3/28 A B C D E F G
4/4 民族掃墓節放假
4/11 G A B C D E F
4/18 F G A B C D E
4/25 E F G A B C D
5/2 D E F G A B C
5/9 C D E F G A B
5/16 B C D E F G A
5/23 實作
5/30 實作
6/6 實作
6/13 畢業典禮放假
6/20 實作
組別 :
A 黃聖堯 羅文宏 楊君寶 曾學志 莊英劭 謝天宇
B 陳儀憲 洪雅琪 凃冠任 陳慶恩 李岳恆 黃健賓
C 林俊池 劉冠顯 羅弘聘 鄒秉翰 何星漢
D 謝博敦 方政幃 陳昱璋 郭勃亨 黃柏誠
E 陳俊嘉 李明勳 吳建廣 潘盈志 吳健誌
F 劉巧勻 王昭凱 樊毓芬 林佳琪 蕭稚臻
G 顏偉俊 陳亦成 陳振弘 陳昱豪 吳誌澄
助教:
Sputter 陳敏甄
ICP Etcher 張冠張
RTA/4 probe 黃正杰
a-step/NK 劉子嘉
CVD 楊伯鈞
E-gun 徐詠恩
MA 曹書瑋
評分方式 :
1. 出席率: 20%
2. 學習態度: 20%
3. 機台操作測驗: 40%
4. 成果: 20%