近年來微電機系統（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）技術有了顯著的發展，並且也可以運用在傳統加工技術及應用半導體製造技術上。儘管MEMS為科技界公認為最具未來發展力及前瞻性的研究領域，但是為了讓學員了解其相關知識、製程技術及未來研究發展方向等核心問題。因此本計畫在下面的內容裡，除了詳盡地說明MEMS的知識技術及有可能性的適用領域，另外也說明全球研究開發的傾向等。此外，本計畫係為開放式教學。除了授課者課堂上教授之外，並且以錄影之方式將授課者的上課講授內容錄影起來，讓學員可在任何時間、任何地點藉由網路E化之功能再次溫習。並可讓外校或是非本系之學員能夠利用網路大學系統來學習本課程，此點係為本計劃之目的。