計畫目的 訓練對微機電(MEMS)有興趣學生的實作能力，培養其興趣，並藉此完善微機電製程實務課程的實驗設計與提高教學成效。 成效 計有11組，34個學生得到微機電製程實作訓練，提供實驗經費，協助其完成專題實作的訓練。此訓練包含無塵室、黃光微影、蝕刻等基本的微機電製造方法。提高學生微機電製程實作能力，以提高微機電學習成效，為未來研究所需之實驗技巧打下良好基礎。學生能夠實作出如照片所顯示的微機電結構。大學生完成實作訓練後提高對微機電製程實作的興趣，有利於激發他們學習的動機與研究的興趣，以培養未來的研究人才。